Części tytanowe do półprzewodników

1. Kontrola uwalniania-bardzo niskich zanieczyszczeń

W całym procesie produkcyjnym stosujemy schemat obróbki obejmujący narzędzia ceramiczne i narzędzia nie zawierające żelaza. Wszystkie materiały pomocnicze mające kontakt z przedmiotem obrabianym przechodzą trzy rundy oczyszczania poprzez płukanie kwasem, ściśle kontrolując całkowitą zawartość żelaza, chromu itp. w granicach 0,02%. Pozwala to całkowicie uniknąć typowego problemu zanieczyszczenia jonami metali w procesach półprzewodnikowych i zapobiega tworzeniu się nadmiernych pozostałości metali na powierzchni płytki. Zmniejsza ryzyko zwarcia obwodu od strony materiału.

 

2. Długoterminowa-odporność na korozję

Po uformowaniu część zostanie poddana dwóm różnym stężeniom zanurzenia w słabym roztworze utleniającym w celu pasywacji. Na powierzchni zostanie wytworzona jednolita warstwa ochronna z dwutlenku tytanu o grubości 8–10 nm. Nawet po wystawieniu na działanie rozcieńczonych roztworów kwasu fluorowodorowego i kwasu azotowego w procesie czyszczenia półprzewodników bez przerwy przez 2000 godzin, nie nastąpi odwarstwienie wżerów ani zanieczyszczenia zarysujące powierzchnię płytki.

 

3. Wysoka-precyzyjna stabilność wymiarowa

Podczas przetwarzania cały proces wykorzystuje natrysk ciekłego azotu do stałej kontroli temperatury, kontrolując odkształcenie powstające podczas przetwarzania z dokładnością do 0,003 mm. Przed opuszczeniem fabryki gotowe produkty przechodzą 24-godzinne testy cykliczne w wysokiej i niskiej temperaturze. Nawet podczas długotrwałej pracy w środowisku procesu półprzewodnikowego w temperaturze 180 stopni, nie będzie żadnych zakleszczeń odkształceń ani przywierania odkształceń. Nie ma potrzeby częstego demontażu i regulacji dokładności osiowania.

 

4. Niska szybkość spalin odpowiednia dla środowiska próżniowego

Wszystkie części są najpierw poddawane pieczeniu próżniowemu w temperaturze 120 stopni przez 48 godzin w celu odgazowania. Para wodna i drobne cząsteczki zaadsorbowane na powierzchni są całkowicie usuwane. Po zainstalowaniu w półprzewodnikowej komorze próżniowej może pomóc sprzętowi osiągnąć docelowy poziom próżni o 25% szybciej niż przy użyciu zwykłych części ze stali nierdzewnej, redukując stratę czasu w oczekiwaniu na pompowanie próżniowe.

1. Taca waflowa do maszyny do naparowywania PVD

Służy do podtrzymywania powlekanej płytki krzemowej. W środowisku-wysokotemperaturowym napylania materiału docelowego część tytanowa nie będzie reagować z gazem napylającym i nie będzie uwalniać nadmiaru zanieczyszczeń do komory, co może poprawić jednorodność warstwy folii metalowej osadzonej na powierzchni płytki o 5%, unikając problemu wycieku wiórów spowodowanego niewystarczającą grubością warstwy metalu. Nadaje się do wymagań produkcyjnych powłok w procesach 28 nm i niższych.

 

2. Stojak na wafle do maszyny czyszczącej na mokro

W standardowym procesie czyszczenia RCA stojak jest całkowicie zanurzony w roztworach czyszczących o mocnym kwasie i silnych zasadach. Materiał tytanowy nie będzie korodował i nie będzie wytwarzał zanieczyszczeń, a także nie będzie przylegał do powierzchni płytki, powodując zanieczyszczenie cząstkami. Może zmniejszyć wskaźnik defektów cząstek podczas czyszczenia płytek w pojedynczej partii o 12%. Jednocześnie lekka charakterystyka stojaka może również zmniejszyć obciążenie przekładni maszyny czyszczącej i obniżyć zużycie energii przez sprzęt.

 

3. Gniazdo mocowania elektrody do maszyny do implantacji jonów

Służy do mocowania-elektrod wysokiego napięcia w maszynie. Nie-magnetyczne właściwości tytanu nie będą zakłócać trajektorii wiązki jonów, umożliwiając kontrolowanie odchylenia głębokości implantacji jonów w bardzo małym zakresie, co pozwala uniknąć problemu nierównej dawki wtrysku w lokalnym obszarze płytki. Znacząco poprawia spójność wydajności elektrycznej chipa.

 

4. Kołnierz przyłączeniowy do półprzewodnikowego rurociągu próżniowego

Łączenie różnych odcinków rurociągu podciśnieniowego maszyny. Niska szybkość usuwania tytanu może utrzymać wysokie-czyste środowisko próżniowe wewnątrz rurociągu i nie będzie powodować wahań stopnia próżni w wyniku uwalniania się gazu ze zwykłych kołnierzy ze stali nierdzewnej po-długim okresie użytkowania. Zmniejsza liczbę alarmów związanych z wyłączeniem maszyn wywołanych nieprawidłowościami w podciśnieniu i zwiększa czas ciągłej pracy linii produkcyjnej o 30%.

1. Dostosowywanie-niestandardowych wymiarów

W oparciu o nasze własne 5-osiowe centrum obróbcze długość, szerokość i wysokość części można dostosować do przestrzeni montażowej istniejącego sprzętu półprzewodnikowego klienta. Klient nie musi modyfikować interfejsu sprzętu, a pierwszą próbkę można dostarczyć w ciągu 7 dni.

 

2. Dostosowanie stanu powierzchni

W zależności od zapotrzebowania można wybrać dwie metody obróbki powierzchni: polerowanie lustrzane i piaskowanie na mat. Nadają się do różnych wymagań czystości w procesie produkcyjnym i mogą zapobiegać przyleganiu cząstek, które ma wpływ na środowisko produkcji półprzewodników.

 

3. Personalizacja specjalnych interfejsów

Konstrukcje specjalne, takie jak specjalne gniazda na karty i otwory pozycjonujące, można dostosować tak, aby w pełni odpowiadały wymaganiom montażowym sprzętu-opracowanego samodzielnie przez klienta. Nie ma potrzeby dodawania żadnych dodatkowych komponentów adaptera.

Przedmiot	Specyfikacja
Nazwa produktu	Części tytanowe do półprzewodników
Tworzywo	Czysty tytan (klasa 2), stop tytanu (klasa 5 Ti-6Al-4V)
Proces produkcyjny	Obróbka CNC, toczenie, frezowanie, szlifowanie, spawanie
Dostępne kształty	Płyta, pierścień, rura, pręt, blok, części niestandardowe
Wymiary	Dostosowane według rysunków lub próbek
Tolerancja	Do ±0,01 mm
Wykończenie powierzchni	Polerowane, piaskowane, marynowane, anodowane, precyzyjnie obrobione
Chropowatość powierzchni	Ra 0,2–1,6 μm (dostępne na zamówienie)
Czystość	Do 99,6% (tytan klasy 2)
Temperatura pracy	Do 400 stopni
Gęstość	4,51 g/cm3
Twardość	Stopień 2: HB 145–200; Klasa 5: HRC 30–36
Odporność na korozję	Doskonała odporność na kwasy, zasady i chemikalia procesowe
Kompatybilność chemiczna	Odpowiednie do chemikaliów półprzewodnikowych i środowisk-o ultrawysokiej czystości
Kontrola	Kontrola wymiarowa, certyfikacja materiałów, kontrola powierzchni

 

 

 

Popularne Tagi: części tytanowe do półprzewodników, Chiny części tytanowe dla producentów półprzewodników, dostawców, fabryka, części CNC z tytanu 5-osiowego, anodowane tytanem części maszynowe, części do chemicznej obróbki tytanu, części tytanowe odporne na ciepło, elementy obrabiane maszynowo z tytanu o wysokiej tolerancji, części frezowane z tytanu